{"product_id":"siasun-tss-industrial-robot","title":"SIASUN TSS-3000 EFEM waferhandling-robot","description":"\u003cp\u003eDe SIASUN TSS-3000 is een EFEM (Equipment Front End Module) voor de halfgeleiderproductie en fungeert als gecontroleerde interface tussen het materiaaltransportsysteem van een fab en de interne transferomgeving van een procestool. Hij coördineert het laden, uitlijnen en overdragen van wafers en helpt tegelijk de contaminatiebeheersing en een gestandaardiseerde, SEMI-compatibele apparatuurcommunicatie te waarborgen.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003eDe TSS-3000 is ontworpen met een kleine voetafdruk en gebruikt een transferrobot met dubbele arm en een externe as om wafers handmatig of in coördinatie met het fabriekstransport, zoals bovenloopsystemen, te verplaatsen, wat een efficiënte, herhaalbare waferhandling aan het toolfront ondersteunt. Hij is geschikt voor cleanroom-waferfab-omgevingen waar gestandaardiseerde interfaces en beperkt operatorcontact met kritische substraten vereist zijn. Neem contact met ons op voor prijzen en beschikbaarheid.\u003c\/p\u003e","brand":"SIASUN","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":67451603910946,"sku":"SIASUN-TSS-3000","price":0.0,"currency_code":"EUR","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/1022\/0693\/1234\/files\/tss3000_9b42a0a3-03a5-4334-9c7e-dc0dc1e7b415.jpg?v=1791207436","url":"https:\/\/robotixmarket.be\/products\/siasun-tss-industrial-robot","provider":"Robotix Market Europe","version":"1.0","type":"link"}